ESD是英文“electron static discharge”的缩写,在电子学和半导体工业中,指静电放电引起的电性损伤现象。静电是指物体在摩擦或接触等作用下电荷分布不均匀而发生电势差的现象。如果在这个过程中,静电能量积累到一个临界值时,静电能将放电到它能接触到的任何一个导电体上,这就是静电放电。
静电放电通常会导致一个瞬间的高电场强度,可能脉冲达到几千伏以上,也会产生几乎能量无限的可见光和红外线,同时产生欧姆热。在一些灵敏的设备和元器件上,这可能烧穿了本应有绝缘保护的薄膜层或材料导致破坏。”
因此,ESD对于电子行业来说十分重要,半导体工业中的静电放电问题特别突出。ESD损伤的防止必须在整个半导体生产制造过程中得到很好的解决和控制。特别注意的是,在封装单元提高密度、速度的同时,静电放电问题显得尤为重要。